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日本先進半導體制造商Rapidus啟動2nm GAA晶體管試制,首塊晶圓亮相

發布時間:2025-07-20 15:08:35

7月18日消息,日本先進半導體制造商Rapidus今日正式宣布啟動2nm GAA(全環繞柵極)晶體管的試制,并展示了其首塊2nm GAA晶圓。這也是最尖端邏輯制程從“三足鼎立”走向“四廠爭霸”道路上的關鍵里程碑。

Rapidus于2023年9月1日舉行了其首座晶圓廠IIM-1的奠基儀式、2024年12月完成了潔凈室準備,2025年4月1日實現了初始圖案的曝光與顯影,到2025年6月完成了由200多個制造單元構成的生產線。

▲ IIM-1

▲ IIM-1

Rapidus正在開發與其2nm工藝兼容的PDK,計劃2026年一季度結束前向客戶交付。該企業2027年實現2nm量產的計劃沒有改變。

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